உயர் தூய 99.8% டைட்டானியம் தரம் 7 சுற்றுகள் sputtering இலக்குகளை ti அலாய் இலக்கு பூச்சு தொழிற்சாலை சப்ளையர்
தயாரிப்பு அளவுருக்கள்
தயாரிப்பு பெயர் | pvd பூச்சு இயந்திரத்திற்கான டைட்டானியம் இலக்கு |
தரம் | டைட்டானியம் (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12)அலாய் இலக்கு: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr போன்றவை |
தோற்றம் | சீனாவின் ஷாங்சி மாகாணம் பாவோஜி நகரம் |
டைட்டானியம் உள்ளடக்கம் | ≥99.5 (%) |
தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் | <0.02 (%) |
அடர்த்தி | 4.51 அல்லது 4.50 g/cm3 |
தரநிலை | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
அளவு | 1. சுற்று இலக்கு: Ø30--2000mm, தடிமன் 3.0mm--300mm;2. தட்டு இலக்கு: நீளம்: 200-500 மிமீ அகலம்: 100-230 மிமீ தடிமன்: 3--40 மிமீ;3. குழாய் இலக்கு: டயா:30-200மிமீ தடிமன்:5-20மிமீ நீளம்:500-2000மிமீ;4. தனிப்பயனாக்கப்பட்டது கிடைக்கிறது |
நுட்பம் | போலி மற்றும் CNC இயந்திரம் |
விண்ணப்பம் | செமிகண்டக்டர் பிரிப்பு, ஃபிலிம் பூச்சு பொருட்கள், சேமிப்பக மின்முனை பூச்சு, ஸ்பட்டரிங் பூச்சு, மேற்பரப்பு பூச்சு, கண்ணாடி பூச்சு தொழில். |
டைட்டானியம் இலக்கின் வேதியியல் தேவைகள்
ASTM B265 | ஜிபி/டி 3620.1 | JIS H4600 | அடிப்படை உள்ளடக்கம்(≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | மற்றவை | ||||
டைட்டானியம் தூய | Gr.1 | TA1 | வகுப்பு 1 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.20 | 0.18 | / |
Gr.2 | TA2 | வகுப்பு2 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | / | |
டைட்டானியம்அலாய் | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | வகுப்பு 60 | 0.05 | 0.08 | 0.015 | 0.40 | 0.2 | அல்:5.5-6.75 வி:3.5-4.5 |
Gr.7 | TA9 | வகுப்பு 12 | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | Pd:0.12-0.25 | |
Gr.12 | TA10 | வகுப்பு 60E | 0.03 | 0.08 | 0.015 | 0.30 | 0.25 | மொ:0.2-0.4 நி:0.6-0.9 |
அறை வெப்பநிலையில் நீளமான இயந்திர பண்புகள்
தரம் | இழுவிசை வலிமைRm/MPa(>=) | மகசூல் வலிமைRp0.2(MPa) | நீட்சிA4D(%) | பரப்பளவு குறைப்புZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
டைட்டானியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள்
டைட்டானியம் ஸ்பட்டர் இலக்கின் பொதுவான அளவு: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 போன்றவை.
வாடிக்கையாளரின் கோரிக்கைகள் அல்லது வரைபடங்களின்படி தனிப்பயனாக்கலாம்
இலக்கு தேவைகள்: அதிக தூய்மை, சீரான படிக தானியங்கள் மற்றும் நல்ல சுருக்கம்.
தூய்மை: 99.5%, 99.95%, 99.98%, 99.995%.
டைட்டானியம் இலக்கு உற்பத்தி செயல்முறை
டைட்டானியம் கடற்பாசி --- டைட்டானியம் இங்காட்டாக உருகியது --- சோதனை --- இங்காட்டை வெட்டுதல் --- மோசடி --- உருட்டுதல் --- உரித்தல் --- நேராக்குதல் --- மீயொலி குறைபாடு கண்டறிதல் --- பேக்கிங்
டைட்டானியம் இலக்கு அம்சங்கள்
1. குறைந்த அடர்த்தி மற்றும் உயர் விவரக்குறிப்பு வலிமை
2. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு
3. வெப்பத்தின் விளைவுக்கு நல்ல எதிர்ப்பு
4. கிரையோஜெனிக்ஸ் சொத்துக்கு சிறந்த பேரிங்
5. காந்தமற்ற மற்றும் நச்சுத்தன்மையற்ற
6. நல்ல வெப்ப பண்புகள்
7. நெகிழ்ச்சியின் குறைந்த மாடுலஸ்